Miscele di fluoruro di Krypton

Miscele di fluoruro di Krypton

Introduzione alle miscele di fluoruro di Krypton (Kr & F2) Le miscele di fluoruro di Krypton sono utilizzate in applicazioni litografiche a 248 nm, generalmente in combinazione con una miscela di gas inerte. Per le miscele laser a eccimeri, esistono diverse combinazioni di gas a seconda dell'uso previsto. Alcune sono combinazioni di ...

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