Gas: materiali chiave per la produzione di display

- Jul 27, 2018-

Su backplane/TFT

Il transistor a pellicola sottile usato nel display è un transistor di gradazione 2D, simile il bulk CMOS prima FinFET. Il display a matrice attiva ha un transistor per pixel che spinge un colore RGB all'interno del transistor. Come visualizzare la risoluzione aumenta, transistor diventano più piccoli, ma non ridurre a dimensioni inferiori al micron di dispositivi a semiconduttore. Ad esempio, un orologio intelligente con una densità di pixel di 325 PPI ha una dimensione di transistor di circa 2 mm2, mentre una TV 4K con un 80 PPI densità di pixel ha una dimensione di transistor di circa 8 mm2.

Tipo di backplane

Ci sono tre tipi principali di film sottile dispositivi a transistor per schermi di visualizzazione: silicio amorfo (a-Si), in polisilicio a bassa temperatura (LTPS) e ossido di metallo (MO), noto anche come trasparente amorfo ossido semiconduttori (TAOS). AM-LCD pannelli uso a-Si per monitor a bassa risoluzione e televisori, mentre schermi ad alta risoluzione utilizzano transistor LTPS. Tuttavia, a causa del loro elevato costo e scalabilità limitata, essi sono comunemente utilizzati in schermi di piccole e medie dimensioni. Pannelli AMOLED utilizzano transistor LTPS e MO, dove MO dispositivi sono comunemente usati nei televisori e monitor di grandi dimensioni (Figura 3).

Come viene utilizzato il gas

A causa di cambiamenti tecnologici, i gas necessari per produrre pannelli AMOLED anche cambiamento rispetto ai pannelli AMLCD. Come illustrato nella figura 4, una varietà di gas attualmente sono utilizzati nella produzione di schermi.

 

Questi gas possono essere suddivisi in due categorie: gas elettronici speciali (ESG) e massa elettronica gas (EBG). Gas speciali elettronici includono Silano, trifluoruro di azoto, fluoro (in loco), esafluoruro di zolfo, ammoniaca e miscele di fosfina, pari al 52% dei gas utilizzati nella produzione di display, mentre massa elettronica gas includono azoto e idrogeno. Elio, ossigeno, anidride carbonica e conto di argon per il 48% del gas utilizzato display manufacturing.http://www.wxytgas.com/