Precauzioni per lo stoccaggio, il trasporto e la manipolazione del trifluoruro di azoto in gas elettronici

- Jun 07, 2018-

Il trifluoruro di azoto del gas di elettroni è un gas inodore, incolore e stabile a temperatura ambiente ed è un forte ossidante quando utilizzato. L'azoto trifluoruro del gas di elettroni viene utilizzato come materiale nell'industria della microelettronica. Un eccellente gas di incisione al plasma, che è diviso in ioni di fluoro attivi durante l'incisione a ioni, ha eccellenti velocità di attacco e selettività per composti di silicio e tungsteno e trifluoruro di azoto di elevata purezza.

L'azoto trifluoruro di gas elettronico non lascia alcun residuo sulla superficie del prodotto quando viene inciso. Ha un ottimo detergente quando usato e, in una certa misura, è utilizzato anche nella produzione di chip e laser ad alta energia.

Stoccaggio e trasporto di trifluoruro di gas azoto elettronico

1. Le bombole di gas del trifluoruro di azoto del gas elettronico devono essere immagazzinate in un magazzino fresco e ventilato in una certa misura. Quando vengono utilizzate, le bombole di gas trifluoruro di azoto devono essere tenute lontano da fuoco, calore, luce solare diretta e agenti riducenti. Carburante separato o materiali combustibili.

2. I cilindri trifluoruro di azoto devono essere caricati e scaricati leggermente durante la manipolazione per evitare danni ai cilindri e agli accessori.

3. Il trasporto delle bottiglie di trifluoruro di azoto è spedito come merce pericolosa. Durante il trasporto, i cilindri trifluoruro di azoto sono fissati con i supporti dei cilindri e trasportati da strade di automobili o navi.

Precauzioni per il funzionamento del trifluoruro di azoto gas elettronico

Il trifluoruro di azoto del gas elettronico deve essere chiuso in una certa misura, in modo che possa fornire una ventilazione locale adeguata e una ventilazione completa in una certa misura. I suoi operatori devono seguire una formazione specifica per osservare rigorosamente le norme in una certa misura. Procedure operative, si raccomanda che gli operatori indossino maschere antigas del tipo autoadescante (semimaschera), indossino occhiali di protezione, indossino indumenti protettivi e indossino guanti di gomma.

Il grado di trifluoruro di azoto nel gas elettronico deve essere molto lontano dalla sua fonte di calore, dal tipo di fuoco e dal posto di lavoro. È severamente vietato fumare e lontano da sostanze infiammabili e infiammabili. Evitare che il gas fuoriesca dall'aria di lavoro. Evitare il contatto con agenti riducenti. Indossare un casco a cilindro e un elastico antiurto durante la manipolazione per evitare collisioni e danni al cilindro. Equipaggiato con i tipi e le quantità appropriate di attrezzature antincendio e dispositivi di risposta alle emergenze.http: //www.wxytgas.com/