I fattori principali che guidano l'applicazione di vari gas nel display

- Jul 30, 2018-

I principali fattori che guidano l'uso dei gas nella produzione di display includono PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition), che rappresenta il 75% del consumo di ESG, mentre l'incisione a secco promuove l'uso di elio. La produzione di transistor LTPS e MO ha guidato l'uso del protossido di azoto. L'uso di ESG nella produzione di transistor MO è diverso da quello mostrato nella figura 4: il protossido di azoto rappresenta il 63% del consumo di gas, il trifluoruro di azoto rappresenta il 26%, il silano il 7% e l'esafluoruro di zolfo e l'ammoniaca rappresentano circa 4%. . Il gas laser è utilizzato non solo per la fotolitografia, ma anche per le applicazioni di ricottura con laser ad eccimeri in LTPS.

Silane: SiH4 è uno dei gas più critici nella produzione di schermi di visualizzazione. Viene utilizzato in combinazione con ammoniaca (NH3) per formare uno strato di nitruro di silicio per transistor a-Si. Viene utilizzato in combinazione con azoto (N2) per formare transistor LTPS. Il laser pre-excimer annega a-Si o, in combinazione con il protossido di azoto (N2O), forma uno strato di ossido di silicio del transistor MO.

Trifluoruro di azoto: dal consumo e dall'uso della produzione di display a-Si e LTPS, NF3 è il singolo materiale elettronico più utilizzato nella produzione di display a-Si e LTPS, e nella produzione MO, il suo utilizzo L'importo non è buono come N2O. NF3 è usato per pulire la camera PECVD. Per questo gas, è necessaria la scalabilità per stabilire i vantaggi di costo richiesti in un mercato altamente competitivo.

Protossido di azoto: entrambi i display LTPS e MO sono utilizzati in produzione. Dal consumo e dall'utilizzo della produzione MO, N2O ha superato NF3 per diventare il materiale elettronico più utilizzato nella produzione MO. N2O è un prodotto regionale localizzato che, a causa del basso costo, non può essere utilizzato in lunghe catene di approvvigionamento con elevati costi logistici. La media per metro quadrato di vetro piano pesa circa 2 kg e in genere richiede 240 tonnellate di N2O al mese per produrre un display a 120 K 8,5 MO. Il più grande rimorchio per gas compressi N2O può fornire solo 6 tonnellate di N2O alla volta, il che è costoso e rischioso per la produzione di MO.

Azoto: un tipico impianto di visualizzazione di grandi dimensioni può avere fabbisogno di azoto fino a 50.000 Nm3 / ora, quindi i generatori di campo (come Linde SPECTRA-N® 50.000) sono una soluzione economica che viene visualizzata rispetto agli impianti convenzionali di azoto. Le emissioni di CO2 (anidride carbonica) prodotte dallo schermo sono ridotte dell'8%.

Elio: l'elio viene utilizzato per raffreddare il vetro durante e dopo il processo. Poiché l'elio è un gas non rinnovabile, i produttori stanno studiando la riduzione dell'uso di elio a causa del loro costo e disponibilità.http: //www.wxytgas.com/